Miniatyura vakuum nasoslari gazni asosiy ishchi vosita sifatida ishlatadigan nasoslardir. Uzoq{1}}bo'sh va quruq ish uchun mos bo'lib, ular diafragmani haydash orqali vakuum (salbiy bosim) hosil qiladi, ular dvigatel bilan boshqariladigan o'zaro harakat-bo'lib, gazni so'rish va chiqarishni amalga oshiradi. Ushbu qurilmalarda ham assimilyatsiya, ham egzoz nozullari mavjud. Ixtisoslashgan modellar turli ish sharoitlariga moslashish uchun ikki{5}}maqsadli assimilyatsiya/kengaytirish va suv/gaz modellarini o'z ichiga oladi.
Asosiy komponentlar diafragma pompasi va vakuum boshqaruvchisini o'z ichiga oladi. Oddiy mahsulot Busch RA0020F (nasos tezligi 20 m³/soat, oxirgi bosim 0,1 mbar). Texnologik rivojlanish magnit levitatsiya texnologiyasi, moysiz{5}}moylash texnologiyasi va ekologik toza dizaynni o'z ichiga olgan miniatyuralashtirish, energiya samaradorligi va aql-idrokka qaratilgan. Asosiy ilovalar orasida tibbiy asbob-uskunalar (so'rg'ichlar, shamollatgichlar), atrof-muhit monitoringi, yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish va yangi energiya sanoati mavjud. 2024 yilda ichki bozor hajmi 5 milliard yuanga yetishi prognoz qilingan edi.